ASML, 작년 매출 14.6조원…'EUV'가 효자

삼성·TSMC, EUV 경쟁 시작…올해 성과 더 기대

네덜란드의 반도체 장비업체 ASML이 작년 연간 매출로 109억4천400만유로(약 14조646억원)를 기록했다. 이는 직전년도 대비 매출이 20.89% 증가한 수치로 극자외선(EUV)을 활용하는 고가의 노광장비 판매확대가 실적을 견인한 것으로 풀이된다.

24일 ASML은 지난해 연간 실적으로 매출 109억4천400만유로, 순이익 26억유로(약 3조3천414억원)를 기록했다고 밝혔다. 작년 연간 매출은 EUV 노광장비 판매효과로 직전년도 연간 매출 90억5천300만유로(약 11조6천344억원)대비 20.89% 증가했다. 사업의 수익성을 나타내는 매출총이익률은 46%로 직전년도 대비 1.1%포인트 증가했다.

EUV 판매효과는 작년 4분기에도 작용했다. ASML의 지난해 4분기 매출은 31억4300만유로(약 4조397억원)로 직전 분기 매출 27억7600만유로(약 3조5천680억원) 대비 13.22% 증가했다. 작년 4분기 당기순이익은 7억8천800만유로(약 1조128억원)로, 매출총이익률은 44.3%에 달했다.

ASML 2018년 반도체 장비 판매추이. (사진=ASML)

ASML 관계자는 "지난해 총 18대의 EUV 노광장비를 공급했다. 올해 하반기부터는 성능을 더욱 개선한 새로운 EUV 노광장비도 공급할 계획"이라며 "올해는 EUV 노광장비를 통한 반도체 생산이 시작되는 원년이 될 것으로 기대한다"고 설명했다.

EUV는 가시광선보다 짧은 빛의 파장을 활용해 반도체의 주재료인 웨이퍼에 미세한 회로를 새길 수 있는 차세대 노광장비를 말한다. 이는 주요 반도체 업체들이 기존 반도체 공정에 사용 중인 불화아르곤(ArF) 노광장비보다 더욱 세밀한 10나노미터(nm, 10억분의 1미터) 이하의 회로를 새길 수 있는 것이 특징이다. 장비 1대당 가격은 수천억원에 달한다. ASML은 올해 실적도 EUV 노광장비 판매확대로 호조를 이어갈 것으로 기대하고 있다. 이는 올해 세계 1위 반도체 기업인 삼성전자와 세계 1위 파운드리 업체인 TSMC가 EUV 노광장비를 활용한 반도체 생산에 적극적으로 나설 예정이기 때문이다.

한편, ASML은 지난 2017년 일본 니콘이 제기한 불화아르곤 노광장비 특허침해소송과 관련해 칼자이스와 함께 총 1억5천만유로(약 1천928억원)을 니콘에 배상하기로 결정했다. 또 니콘과 양해각서를 통해 향후 10년간 관련 특허기술에 대해 0.8%의 로열티를 제공하는 크로스라이센스 계약도 체결했다.

ASML 관계자는 "양해각서는 미국 국제 무역위원회를 비롯해 유럽·일본·미국의 니콘, ASML, 칼자이스 사이의 계류 중인 모든 분쟁에 관련된 구속력 있는 합의"라며 "이번 합의를 통해 3개사는 2019년 2월 최종 합의 및 크로스라이센스 계약을 체결하고, 모든 법적 소송을 기각할 것"이라고 전했다.