어플라이드머티어리얼즈는 24일 3D 낸드와 핀펫 디바이스의 높은 단차와 복잡한 기능 측정에 대한 문제를 해결할 수 있는 인라인 3D 임계치수 주사전자현미경(CD SEM, Critical Dimension Scanning Electron Microscope) ‘베리티SEM 5i’를 발표했다.
베리티SEM 5i는 고해상도 이미징과 뛰어난 임계치수 제어 인라인을 할 수 있는 후방산란전자(BSE) 기술을 제공한다.
어플라이드머티어리얼즈는 이 제품을 사용하는 칩 제조사들은 공정 개발 및 생산 램프의 속도를 향상시킬 수 있으며, 디바이스의 성능과 대량생산 수율을 개선할 수 있다고 설명했다.
베리티SEM 5i의 고해상도 주사전자현미경 컬럼 및 경사진 빔과 BSE 이미징은 핀펫과 3D낸드 구조의 인라인을 측정하고 모니터링을 할 수 있는 업계 유일한 3D 계측기술을 제공한다.
특히 ‘비아 인 트렌치’ 하단의 임계치수를 위한 BSE 이미징은 칩 제조사들이 하부레이어와 상부레이어 금속층 사이의 연결을 확실히 하도록 해준다.
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또한 아주 작은 오차도 기기 성능과 수율에 영향을 주는 핀펫의 측면 뿐만 아니라 게이트와 핀의 높이를 제어하기 위해 ‘베리티SEM 5i’의 경사진 빔은 인라인 측정의 정확성과 반복성을 제공한다.
고해상도 BSE 이미징은 60:1 이상의 높은 단차비에 도달함으로써 3D 낸드 디바이스의 비대칭 측면 및 하단의 임계치수를 측정하기 위해 개선된 감도를 통해 수직 스케일링을 지속할 수 있도록 한다.
